杂交泵，是由一个双极旋片泵和一个双极隔膜泵复合而成。旋片泵用于连接应用端以达到较好的真空度，隔膜泵用以维持油腔内的真空度，使溶剂蒸汽的分压保持在它们的露点之下，大大减少氧化性或腐蚀性气体的冷凝。

化学杂交泵的热力学机理

1.蒸汽在低压常温时被吸入

2.由于热交换和泵内压缩，蒸汽被加热至约60°C。普通旋片泵存在冷凝问题：在气体被压缩到常压的过程中，蒸汽已经在油箱内达到饱和蒸汽压（转化为液态）；结果：泵内发生了冷凝和腐蚀；泵油被污染. 

3.化学杂交泵：化学隔膜泵将蒸汽从旋片泵的油箱中抽出，在特定的操作条件下，在浸油的部件、尤其是油箱内没有冷凝发生.（在干式隔膜泵内发生冷凝时造成的影响相对小很多.）减少冷凝意味着降低腐蚀和减轻油污染，延长油的使用时间.例如，在处理酸性气体时，油箱内的压力抽至20mbar就会将腐蚀减少至1/50。

化学杂交泵最大的三个好处

1.大大减少内部腐蚀，即使抽取腐蚀性很强的气体仍然如此，泵几乎不需要停机维修，大大减少了维修和更换备件所需的成本

2.与单独的油泵相比，减少90%以上的油消耗（基本不需要换油，只需在长时间使用后补充少量的油）

3.极低的操作成本（因为省了很多油耗、省了很多冷阱用的干冰啊液氮啊、省去了很多前置塔装置成本啊）

4.不需要冷阱、各种酸性或碱性的前置处理塔，降低了配件成本

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