超纯水设备和纯水设备都是水处理设备，但他们也有许多不同之处。

首先是原理不同，超纯水设备是在反渗透技术的基础上，添加了EDI系统和终端抛光处理技术，有些还有深度离子除盐、超滤和UV光氧化作用设备。尽可能彻底地去除天然水中常见的可溶性无机物、有机物、颗粒物、微生物、可溶性气体等杂质。而纯水设备采用反渗透技术，其工作原理是对水施加一定的压力，使水分子和离子态的矿物质元素通过反渗透膜。溶解在水中的绝大部分无机盐(包括重金属)、有机物以及细菌、病毒等无法透过反渗透膜，从而使渗透过的纯净水和无法渗透过的浓缩水严格地分开。

其次是水质不同，超纯水设备处理过后的水电阻率可达到18MΩ·cm(25℃)的水，这种水除了水分子以外，将不会含有任何的杂质。而纯水设备的出水水质，一般达到新版的《生活饮用水新标准》即可。

最后是工艺不同，超纯水设备常用的工艺方法有蒸馏法、反渗透法、离子交换法、过滤法、吸附法、紫外氧化法等，将水的纯化过程大致分为4大步，预处理(初级净化)、反渗透(生产出纯水)，离子交换/EDI装置(可生产出18.2MΩ·cm超纯水)和终端抛光处理(生产出符合特殊要求的超纯水)。而纯水设备采用反渗透工艺，对水施加的压力，水通过孔径只有0.0001微米反渗透膜，过滤掉水中0.02-0.4或0.4-1微米的病毒、细菌等杂质。

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